流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動(dòng)的流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
流量控制器主要的優(yōu)點(diǎn)：
1、直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量熱式質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量流體質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，無(wú)需其他設(shè)備，如溫度測(cè)試儀和壓力表，也無(wú)需進(jìn)行換算。
2、無(wú)可移動(dòng)部分本身無(wú)類似轉(zhuǎn)軸等的移動(dòng)部件，增加了本身的可靠性，無(wú)需機(jī)械維護(hù)。
3、可以準(zhǔn)確的測(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
4、測(cè)量控制的自動(dòng)化。
5、控制器可以準(zhǔn)確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制，是用于對(duì)于不同氣體的比例控制等。
6、準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好準(zhǔn)確度可達(dá)＋－1％F.S（fullscale）重復(fù)性為＋－0.25％F。S（fullscale）。
7、體積小巧，安裝方便，操作簡(jiǎn)單。
8、技術(shù)先進(jìn)，符合發(fā)展潮流。
